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PlasCalc等離子體監測系統

2019/08/07

  PlasCalc 等離子體監測控制儀

欧美激情小说  PlasCalc 等離子體監測控制儀,實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量,通過高級過程控制系統及精密數據存取算法,只需3m就可以獲得測量結果。

  特點

欧美激情小说  光學分辨率1.0nm(FWHM)

欧美激情小说  光譜范圍 200-1100nm

  快速的建模及存儲實驗方法

欧美激情小说  Recipe編輯器

  Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等,能夠快速簡單的構建模塊過程控制。

  多種工具用于等離子體診斷

欧美激情小说  隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器(可以單獨購買)用于類型確認,而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。

  PlasCalc 配置說明

光譜范圍:

200-1100 nm

光學分辨率:

1.0 nm (FWHM)

D/A 轉換:

14 bit

數字I/O:

8 x TTL

模擬輸出:

4 x [0-10V]

接口:

USB 1.1

功耗:

12 VDC @ 1.25 A

電源:

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸:

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量:

5 kg


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