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SpecEI橢圓偏振光譜儀系統

2019/08/07

  SpecEl 橢偏儀

  SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率,吸光率及膜厚的測量。

  集成的精確測量系統

  SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成,并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達0.005%。

  SpecEl可通過電話問價。

  SpecEl軟件及Recipe配置文件

  通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析,所有的配置會被存入recipe文件中。創建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執行你的實驗。

  SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度,折射率及吸光率。

  配置說明

波長范圍:380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選)
光學分辨率:4.0 nm FWHM
測量精度:厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:70°
膜厚:單透明膜1-5000 nm
光點尺寸:2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選)
采樣時間:3-15s (最小)
動態記錄:3 seconds
機械公差 (height):+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
膜層數:至多32層
參考:不用


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